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集微网消息，清华大学机械工程系本科生官方微信平台机械之声日前发文，介绍了该系于8月13日举办的制造前沿讲堂—集成电路专场活动，本期活动邀请到清华机械工程系长聘教授朱煜，就光刻机技术做专题讲座。

根据朱煜教授介绍，我国多家研究所正在共同进行DUV光刻机整机攻关和EUV光刻机关键技术预研，清华大学团队目前正在承担浸没双工件台、平面光栅测量系统、EUV光刻机真空工作台等的研发工作。

随后，清华大学机械工程系助理教授、研究员柴智敏带来了芯片技术专题讲座，分享了光刻领域目前我国正在研究的几项前沿图案化技术，如近场光刻技术、纳米压印技术、共聚物定向自组装光刻等。

在活动自由交流环节，有学生向朱煜提问其课题组研发的工件台和ASML公司差距。朱煜回应称：目前课题组研制的工件台在大的代际上与ASML公司最先进工件台（2000系列以上产品）处于同一水平。但在小的代际上与ASML的2000系列以上产品还存在一代的差距，再迭代一次后就可以追上国际先进水平。

针对我国研发光刻机在各个零部件方面都受到制裁的提问，朱煜表示ASML的光刻机制作是基于全球供应链制作而成的，中国需要培养自己的供应商，建成自己的供应链，难度远大于其他国家的研发过程。相信在不远的未来，中国一定会攻克所有技术难关。

【sleepdog提供】